?半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇

?半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇燒結用石墨模具

由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下尺寸穩定、耐熱沖擊性能好等特點，所以在半導體工業中廣泛采用高純石墨制作各種燒結模具。

(1)電子器件燒結用石墨模具。石墨燒結模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器件的管心燒結，圖為部分燒結模具實例。采用高頻爐區熔法拉制單晶時，還采用石墨舟(見圖2-4）。

（2）各種絕緣子燒結模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結，電容器絕緣子燒結，厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結，超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結模具等，圖2-5為部分可控硅管和各種絕緣子燒結模具。

半導體工業用石墨模具材料的選擇

半導體工業對所用石墨材料要求其純度越高越好，特別是直接與半導體材料接觸的石墨器件

如坩塌、燒結用石墨模具等，雜質含量多會污染半導體材料，因此不但對所用石墨原材料的純度要嚴加控制，而且還要經高溫石墨化處理，使其灰分降到最低程度。

半導體工業要求所用石墨材料顆粒度要細，顆粒度細的石墨不但容易達到加工精度而且高溫強度高、損耗小，特別是燒結用石墨模具要求加工精度很高。因為半導體工業所用的石墨器件(包括加熱器和燒結模）都需要承受反復加熱和冷卻過程，為了提高石墨器件的使用壽命，要求所用石墨材料在高溫下具有良好的尺寸穩定性和耐熱沖擊性能。為了滿足上述各項要求，目前我國生產了一系列適用于半導體工業所使用的石墨材料，其部分牌號和性能列于表